小径非球面レンズ金型の研削加工

抄録

本論文では、次世代DVDのピックアップレンズ用金型の加工に対応して開発した非球面加工機、非球面形状解析·補正システムと、この加工機、計測、補正システムを用いて次世代DVD用の小径非球面金型を形状精度40nm以下で研削加工を行った事例について報告する。