リニアモーター駆動超精密加工装置の評価

抄録

非軸対称非球面形状等の複雑な非球面形状を超硬精度に加工するために、新たにリニアモーターを用いた超精密4軸加工装置(6軸まで拡張可能)を開発している。本装置の性能を評価するために、平面加工、球面加工、回折格子加工などの基礎的な光学素子形状の加工と評価を行い、ボールネジ駆動式の超精密加工装置との比較を実施した結果について報告する。