位相シフト法による透明膜に覆われた表面の3次元形状測定装置開発

抄録

既に報告した位相シフト法のアルゴリズムを用いて、透明薄膜に覆われた物体の3次元形状測定装置を開発中である。本報では、正しい測定に重要な装置パラメータ、試料パラメータの実用的な決定方法の検討結果を述べる。