精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会春季大会
セッションID: E13
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メカノフォトニクス(3)
位相シフト法による透明膜に覆われた表面の3次元形状測定装置開発
*北川 克一
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抄録

既に報告した位相シフト法のアルゴリズムを用いて、透明薄膜に覆われた物体の3次元形状測定装置を開発中である。本報では、正しい測定に重要な装置パラメータ、試料パラメータの実用的な決定方法の検討結果を述べる。

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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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