能動静圧継ぎ手を用いた2モード超精密位置決めシステムの開発

抄録

粗動モード位置決めにはツイストローラ摩擦駆動装置、微動モード位置決めには能動型静圧継ぎ手を用いた2モード超精密位置決めシステムを提案する。粗動モードではツイストローラから発生する横振動が静圧継ぎ手により絶縁され、ナノメートル位置決めが実現できる。微動モードでは継ぎ手に組み込まれた能動自成絞りにより静圧軸受の空気膜厚さを制御することで、サブナノメートルオーダでの位置決めが可能となる。