超精密切削加工によるマイクロ流体チップ金型の加工および成形品の評価

抄録

マイクロ流体チップは、微細な溝の中を液体を流し、各種化学・生化学分析を極微少量のサンプルで行おうとするシステムである。こうしたマイクロ流体チップの製造を超精密機械加工技術を用いて行った結果について報告する。