非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第２報） サイアロン製超精密測定ユニットの試作と接触角一定走査法による形状測定精度の評価

鈴木 浩文; 大西 孝; 木下 孝彦; 沖野 正; 土方 祥雄; 福田 雅彦; 菅原 潤; 山形 豊; 樋口 俊郎; 牧野 俊清

doi:10.11522/pscjspe.2007A.0.123.0

2007年度精密工学会秋季大会

セッションID: B39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007A.0.123.0

会議情報

非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第２報）

サイアロン製超精密測定ユニットの試作と接触角一定走査法による形状測定精度の評価

鈴木浩文, *大西孝, 木下孝彦, 沖野正, 土方祥雄, 福田雅彦, 菅原潤, 山形豊, 樋口俊郎, 牧野俊清

著者情報

キーワード: 機上測定, サイアロン製プローブ, 超精密非球面, 金型, エアープローブ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

近年，光学デバイスなど，非球面形状の超精密機上計測の必要性が高まりつつある．従来のプローブを用いた測定方法では，測定圧や温度変化によるプローブの変形，測長計のドリフトといった問題がある．そこで本研究では，高剛性・低熱膨張・軽量のセラミック製のエアベアリングスライドプローブを試作し、また斜軸プローブを用いた接触角一定走査法にを開発し，非球面金型の形状測定評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）