抄録
平面研削における非加工時間を短縮するために,工作物形状に倣ってテーブル反転運動する適応制御システムを開発した.マグネットチャック内部に垂直方向に組み込んだ加速度センサにより,研削砥石と工作物の干渉による微小振動を検知し,振動があるレベルより小さくなると同時にテーブル進行方向を反転させる.すなわち,加工中はテーブルが一方向に進むが,加工終了と同時に進行方向が反転する.本システムにより,加工時間を短縮することに成功した.また,各種形状・様々な配置の工作物に対して本システムを適用し,本システムの有効性を評価した.
