急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法

杉山 将; 松坂 拓哉; 小川 英光; 北川 克一; 鈴木 一嘉

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.585.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: G07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.585.0

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主催: 社団法人精密工学会

急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法

杉山将, *松坂拓哉, 小川英光, 北川克一, 鈴木一嘉

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キーワード: 表面形状測定, ワンショット, 局所モデルフィッティング, 鋭い突起, メディアンフィルタ, 位相シフト法

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抄録

精密加工品のナノメートル単位の表面形状計測には,位相シフト法がよく用いられる.この手法は,複数の画像の情報を利用するためデータ取得中の振動等の影響を受けやすい.この問題を解決すべく,一枚の画像の情報から表面形状を計測する手法が提案されているが,急峻な段差形状を精度良く計測することは未だ困難である.そこで本論文では,一枚の画像から急峻な段差形状を高精度で計測できる測定法を提案する.

責任著者(Corresponding author)

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