精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会春季大会
セッションID: G07
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急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法
杉山 将*松坂 拓哉小川 英光北川 克一鈴木 一嘉
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抄録

精密加工品のナノメートル単位の表面形状計測には,位相シフト法がよく用いられる.この手法は,複数の画像の情報を利用するためデータ取得中の振動等の影響を受けやすい.この問題を解決すべく,一枚の画像の情報から表面形状を計測する手法が提案されているが,急峻な段差形状を精度良く計測することは未だ困難である.そこで本論文では,一枚の画像から急峻な段差形状を高精度で計測できる測定法を提案する.

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© 2007 公益社団法人 精密工学会
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