マイクロ回転工具による単結晶光学レンズの精密研磨

鈴木 浩文; 野口 崇二郎; 土方 祥雄; 山形 豊; 樋口 俊郎; 牧野 俊清; 吉田 和史; 柴坂 敏郎

doi:10.11522/pscjspe.2008A.0.815.0

2008年度精密工学会秋季大会

セッションID: J75

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008A.0.815.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ回転工具による単結晶光学レンズの精密研磨

鈴木浩文, *野口崇二郎, 土方祥雄, 山形豊, 樋口俊郎, 牧野俊清, 吉田和史, 柴坂敏郎

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キーワード: 軸対称非球面, 回転工具, コンピュータ制御研磨, 単結晶光学レンズ, 形状精度, 表面粗さ

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抄録

単結晶材料は赤外光や紫外光にも優れた光学特性をもつため単結晶材料製レンズのニーズが増大している．これらのレンズは従来，単結晶ダイヤモンドバイトを用いた超精密旋削により加工されているが，周期的な切削痕や工具損耗に伴う表面粗さの悪化が生じる場合，研磨加工が必要である．そこで本報では微小回転研磨方式によるCNC研磨法を用い，単結晶材料製レンズの研磨特性を評価し非球面レンズの研磨加工を試みたので報告する．

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