非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第3報） 接触角一定走査法におけるプローブ走査速度の高速化の検討

鈴木 浩文; 大西 孝; 沖野 正; 土方 祥雄; 木下 孝彦; 福田 将彦; 菅原 潤; 山形 豊; 樋口 俊郎; 牧野 俊清

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.1091.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: N44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.1091.0

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主催: 社団法人精密工学会

非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第3報）

接触角一定走査法におけるプローブ走査速度の高速化の検討

鈴木浩文, *大西孝, 沖野正, 土方祥雄, 木下孝彦, 福田将彦, 菅原潤, 山形豊, 樋口俊郎, 牧野俊清

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キーワード: 機上測定, 非球面形状, 超精密金型, 接触角一定走査法, SIALON製エアスライド

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抄録

非球面形状の超精密機上計測の高精度化が要求されており，前報では，低熱膨張性材料のSIALON製プローブを用いた測定ユニットを開発し,高傾斜角における測定誤差抑制のため接触角一定走査法を提案し，その効果を示すことが出来た．本報では測定時間を短縮するため，測定ユニットの変位と工作機械の座標を同時に読み取ることにより走査プローブの高速駆動化を図り，走査速度と測定精度について実験的に検討し，接触角一定走査法による非球面形状の高精度・高能率測定を可能にした．

責任著者(Corresponding author)

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