ピーリング工具を用いた微細加工

抄録

本研究では、マイクロ加工用の微細軸（ワイヤ）を物性値の異なる材料で被覆して共軸円筒を成し、マイクロ加工の際に外周部を除去して工具部を露出しその部位（ピーリング工具）による加工を行う。この方式による工具の製作法とその効果について論ずる。