ラジアルエンコーダの試作

片岡 篤司; 野村 光由; 堀内 宰; 柴田 隆行; 村上 良彦

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.513.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: F73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.513.0

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主催: 社団法人精密工学会

ラジアルエンコーダの試作

*片岡篤司, 野村光由, 堀内宰, 柴田隆行, 村上良彦

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キーワード: 位置決め, センサ, 回折格子, 回転精度

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抄録

軸の回転精度を測定するためのラジアルエンコーダを試作し，その基本性能を検討した．ラジアルエンコーダは同心円回折格子と小型エンコーダヘッドで構成されている．ナノマイクロマシニングセンタの主軸回転やXYテーブル運動により，ラジアルエンコーダの基本性能を調べた．その結果，試作したラジアルエンコーダが測定分解能0.1μmを有し，回転精度を測定できる可能性が見出された．

責任著者(Corresponding author)

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