超音波振動を利用したリニアガイド用スクイーズ空気案内面の動的特性に関する研究

抄録

本研究では金属薄板に圧電素子を取り付け、超音波領域の共振周波数を用いることで負荷荷重を支持できるスクイーズ空気案内を取扱い、その動的特性を実験的、数値的に明らかにすることを目的とした。