微小径ドリル加工に関する研究

抄録

近年、半導体や各種電子機器の極小化、多機能化が進み、直径数十～数百µmの微小穴加工の需要が増えてきている。このような微小径ドリル加工を行う場合、主軸の回転誤差やドリルの取り付け誤差のためにドリルの回転ぶれを生じ、精密加工が困難になるばかりでなく、ドリルに過大な半径力などが作用して、寿命を損なうことになる。そこで本報ではφ0.1mmドリル加工における曲げと半径力および工具の疲労寿命の関係について、理論と実験で検討した。