精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会春季大会
セッションID: J04
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レーザ割断を利用したガラス上の鏡面溝創成法に関する研究(第4報)
*松村 孟若林 正毅渋谷 秀雄池野 順一
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抄録
本研究では結晶化ガラスがレーザ照射によって局所的に非晶質化し変態応力が発生することに着目し、レーザ割断によるガラスの微細鏡面溝創成の実現を目指しており、これまでに直線や曲線の鏡面溝を結晶化ガラス上に創成してきた。本報では鏡面溝創成メカニズムについての検証を行った結果、創成溝の品位を向上させることができたので報告する。
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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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