抄録
電解酸化水はHCl溶液と異なり，人体および環境に悪影響を与えない．電解酸化水をリードフレームの表面処理に応用できれば，環境負荷の軽減が期待できる．まず，浸漬実験により，リードフレーム用銅合金に対する電解酸化水のエッチング作用を明らかにした．その結果，電解酸化水のエッチング速度はHCl溶液の2倍以上である．つぎに，試料片の表面分析により，リードフレーム用銅合金の表面層に与える電解酸化水の影響を解明した．すなわち，電解酸化水を使用する場合，Cu-Ni合金の表面における酸化皮膜が変化しないが，Cu-Fe合金の酸化皮膜が厚くなる．本研究により，電解酸化水はCu-Ni合金の酸化皮膜除去工程に応用でき，Cu-Fe合金の表面洗浄に応用できることが分かった．
