大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウエハ厚さの均一化

分光学的手法によるパルス変調プラズマの解析と加工特性との相関の考察

抄録

我々は水晶振動子の共振周波数を決定する水晶ウエハ厚さのウエハ面内分布の修正方法として, 大気開放型数値制御プラズマCVMを提案している. これまで、電力の印加方法をパルス変調とすることで24mm×24mmの範囲において厚み最大誤差33.1nmを2分以内の処理時間で達成することに成功している。本報では発光分光測定により連続波プラズマとパルス変調プラズマの電子密度、ガス温度、ならびに反応種密度を求め、加工特性との相関を考察した。