ファイバ型PS/PDIの非球面形状計測への応用

平面ミラーへの適用

抄録

絶対形状計測装置として、2つのシングルモード光ファイバコアを点光源としたPS/PDIの開発を行ってきた。ファイバ型PS/PDIでは回折球面波を計測の基準面とするため、凹面の形状計測に適している。しかし、絶対形状計測が要求されている形状は凹面だけでなく多岐にわたる。そこで、非球面形状計測への応用として平面計測を行った。計測対象としてはSiウエハの鏡面を用い、形状計測が可能であることを実証した。