工作機械高精度化のための光スキッドセンサの開発

抄録

機上計測システムにより、工作機械の高精度化を図る手法が広く研究されている。しかし、機上において高精度な計測を行う場合、振動など様々な外乱の影響を取り除く必要がある。本報告では、比較的広い測定範囲を持つ三角測量法に、振動の影響を除去する光スキッド機能を付与したセンサを提案し、三角測量法における光スキッドの原理と、その効果について述べる。