精密工学会学術講演会講演論文集
2009年度精密工学会秋季大会
セッションID: A63
会議情報

金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形(第2報)
*鈴木 浩文町田 一道牧野 俊清向畑 大輔柴坂 敏郎
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録

LSIは製造過程においてICプローブにより電気特性を検査するが,近年,LSIの微細化・高集積化により電極パッドは狭ピッチ化し,そのためICプローブにも微細化と狭ピッチ化が必要となっている.より微細なICプローブを開発するために,本研究では金属ガラスに着目し,金型の切削加工,放電加工による転写と,金属ガラスのガラスプレスなどのプロセスを複合化し,微細部品の創成を行ったので報告する.

著者関連情報
© 2009 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top