基板の表面性状が成膜に与える影響

パウダージェットデポジション法によるセラミックス膜創成に関する研究

抄録

これまで筆者らは，微粒子を高速で基板に吹き付けることにより成膜を行うPJD法を開発した．これまでの研究から，基板の形状や硬度が成膜性に大きな影響を与えることが明らかとなっている．そこで本報では，基板の表面性状が成膜に与える影響について報告する．