同心円状回折格子干渉計を用いた軸受ラジアル・アキシャル・アンギュラモーション一括同時計測

（第１報：計測原理と誤差分析）

抄録

回折格子の0次回折光および±1次回折光の干渉を利用し、回折格子の縦と横方向の変位を同時に計測する変位センサを提案する。このセンサ複数個と同心円状回折格子を利用し、軸受のラジアル・アキシャル・アンギュラモーションを高速かつ一括同時に計測する手法をさらに提案する。計測原理・誤差解析に関し報告する。