薄硬質材－薄軟質材サンドウィッチ工具を用いた超音波加工による微細溝郡の創成

抄録

超硬合金やアルミナセラミクスの表面に，微細な形状を創成する方法に超音波加工がある．本研究では，溝幅数十μmの多数の溝を一度の工程で創成できる超音波加工用の工具として，薄硬質材と薄軟質材を交互に積層したサンドウィッチ工具を提案する．ここでは，提案する工具による溝創成機構と，加工物の材質やスラリー中の砥粒の粒度や工具の負荷応力が，微細溝加工特性に及ぼす影響について検討した結果について報告する．