微細段差形状の高速高精度光応用３次元形状測定法（キーノートスピーチ）

抄録

微細段差加工が多用される時代を迎え，光干渉を用いた３次元形状測定技術は扱いやすさ，高速性，高精度性などから色んな所で使われています．この形状測定技術はさらなる高精度性や高速性の追求，また振動下での応用等を求めて種々の手法がまだまだ導入されつつあります．ここでは我々が開発してきた手法を紹介し，それとの簡単な比較を通して各種の手法に関する皆様の活発な議論の展開を図りたいと思います．