ファイバ型PS/PDIの非球面形状計測への応用

放物面ミラーの形状計測

抄録

大口径光学素子の絶対形状計測装置として、2つのシングルモード光ファイバコアを点光源としたPS/PDIの開発を行ってきた。ファイバ型PS/PDIでは回折球面波を計測の基準面とするため、凹面ミラーの形状計測に適している。しかし、絶対形状計測が要求されている形状は凹面だけでなく多岐にわたる。そこで、ファイバ型PS/PDIの非球面形状計測への応用として、放物面ミラーの形状計測を行った。