工作物形状がマルチワイヤソーを用いたスライシングに及ぼす影響

抄録

シリコンウエハのスライシングには，マルチワイヤソーが主に用いられている．本装置を用いた加工において，加工後のウエハにソーマークが生じてしまうことが問題となっており，詳しい原因もわかっていない．そこで本研究では，工作物の端面形状の違いによる加工溝内部のスラリー挙動とワイヤ振動を観察することによって，ソーマークの発生原因について解明することを目的とし，実験を行った結果について述べる．