広域モデル適合による多波長ワンショット干渉測定

抄録

ワンショット干渉計測法であるキャリア縞導入方式には、水平方向分解能が低いこと、表面傾斜角度に制限のあることなどの問題がある。我々は、上記問題を解決するため、キャリア縞導入の不要なワンショット干渉測定法を開発した。多波長の干渉画像から得られる複数点の輝度値に、干渉信号モデルを最小自乗適合し、表面高さとモデルパラメータを一括して求める。計算機実験と実サンプル測定により、提案手法の妥当性を確認した。