反応焼結SiCの超精密延性切削に関する研究

抄録

従来不可能であった炭化珪素(SiC)の超高硬度金型の超精密微細加工を実現することを目指し，反応焼結SiC (以下，RB-SiC)の超精密延性モード切削を行った。超精密延性モード切削加工特性及びバイト磨耗を究明した。バイトの磨耗を抑制するための工具揺動切削法を提案し，その有効性を検証した。ダイヤモンドバイトの摩耗量が大幅に減少し，良好な加工表面が得られることを確認した。