精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: O34
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ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法のパラメータ自動最適化
*森 翔悟杉山 将小川 英光北川 克一入江 慧
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キーワード: 形状計測
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抄録

局所モデル適合法(LMF法)とよばれるワンショット表面形状測定アルゴリズムでは,測定対象面が局所的に平坦であるという仮定のもとで,近傍画素の輝度情報から表面形状の推定を行う.しかし、LMF法の推定精度は近傍領域の取り方に依存するため,その適切な設定が重要である.本論文では,測定に用いる一枚の干渉縞画像から近傍領域の形状や大きさを自動的に決定する手法を提案し,その有効性を実験により示す.

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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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