電子スペックル干渉計測におけるサブサンプリングを用いた高分解能高速面内変形計測

新井 泰彦; 豊留 新平; 横関 俊介

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.1047.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: O45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.1047.0

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主催: 社団法人精密工学会

電子スペックル干渉計測におけるサブサンプリングを用いた高分解能高速面内変形計測

*新井泰彦, 豊留新平, 横関俊介

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キーワード: 光応用計測, スペックル干渉計測, サブサンプリング

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抄録

電子スペックル干渉計測において高速に面内変形が発生する場合に，高分解能にその変形を二次元で計測するときには,高速度カメラが必要となる.本研究では,virtual speckle pattern を用い,かつサブサンプリング法を適用することによって,必ずしも高速度カメラを用いることなく計測が実施可能である手法を提案する.測定の原理を実験結果を用いて検討している.

責任著者(Corresponding author)

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