リングビーム素子を用いた小型内面形状測定法の開発（第４報）

傷検査の試み

抄録

内面形状計測の要求は，自動車や航空機分野だけにとどまらず，原子力発電から土木そして医療に至るまで幅広い分野にまで広がっている。我々のグループはリングビーム素子を導入した計測法を提案してきた。今回，光強度特性を展開図に適用した新たな評価法から内面形状計測だけでなく傷検査としても本計測法が有効であることを明らかにしたので報告する。