電圧印加法を用いたレーザ加工用ガラスの開発

抄録

本研究ではガラスのレーザ加工性を向上させることを目的として，電圧印加法を用いてガラス内部への金属元素導入を試みた．ホウケイ酸ガラスに銀または銅を導入した場合，紫外波長において透過率が減少した．またレーザ加工の際に生じる割れ欠けが抑制され，加工閾値が低下することが分かった．透過率の減少および加工閾値の低下は銅を導入したガラスの方が大きいことが分かった．