精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: Q07
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主催: 公益社団法人精密工学会

SiC単結晶の酸化剤援用研磨の研究（２）
*大森 恒, 佐藤 誠, 高橋 舞子
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キーワード: 研磨, 化学的機械的研磨, 炭化珪素, 酸化剤
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抄録
SiC単結晶をpHや酸化還元電位を変化させて研磨を実施し、その研磨後のSiC単結晶の表面状態の変化を調査した。
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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