1ミリ立方メートルのステータを用いた小型超音波モータの評価

抄録

内周面に3波を発生するの振動モードを用いる超音波モータの小型化を行い，1ミリ立方メートルのステータを用いて，駆動実験に成功している．本研究では，ステータとロータの間の与圧を調整することによって，どのように性能に影響するか，過渡応答を含む動的特性がどのように変化するか，を調査したので報告する．