周波数分布特性からみる超精密加工面の定量的評価方法に関する検討

片平 雄; 福田 将彦

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_233

抄録

高品質光学レンズでは，従来から行われている金型加工面に対する形状誤差や面粗さの評価方法では表現しきれない品質課題が増えている．例えば，フレア，ゴーストの要因と考えられている加工面上の微小なうねり成分は，虹面の有無など光学的な定性評価にとどまることが多い．そこで本研究では，金型加工面の空間周波数解析を実施し，パワー密度の周波数分布特性から，加工品質を幾何学的に定量評価できるプロセスの検討を行った．

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