主催: 公益社団法人精密工学会
東京工大 大学院理工学研究科 機械物理工学専攻
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炭化ケイ素に対し真空中で赤外レーザ光を照射することで、炭化ケイ素表面に局所的なカーボン層生成を試みた。レーザ照射部を分析した結果、表面からケイ素原子が除去され、カーボン層の生成が確認された。この層の厚さはレーザ照射条件により制御可能であった。さらに極小荷重での摩擦試験により、レーザ照射部の潤滑性向上を確認した。またレーザの照射条件によるカーボン層の構造やその他の機械特性についても評価した。
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