AFMを用いた金属スパッタ膜のナノスケール陽極酸化加工に関する基礎研究

抄録

本研究では，原子間力顕微鏡を用いて単結晶Si，Cuスパッタ膜，Tiスパッタ膜に対してナノスケール陽極酸化加工を行い，スパッタ膜上に酸化膜の形成を試み，それぞれの試料の結果を比較検討した．その結果，どの試料も加工条件に応じて酸化物寸法が変化することが確認され，同一の条件で酸化物の大きさを比較した場合Tiがもっとも大きく，Cu，Siの順で酸化物生成されることが確認された．