ECRスパッタ法による高硬度・極薄膜作成のための検討

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: M70

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

著者情報

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

AFMを用いたナノマイクロ加工を行うために，高硬度なECRスパッタカーボン薄膜を被膜することで，探針の機械的特性向上が期待できる．本研究では探針への高硬度及び極薄膜のECRスパッタカーボン薄膜被膜のための基礎的な検討評価を行う．