精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: L01
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2次元光位相変調デバイス(LCOS-SLM)を用いた高精度光計測・制御システム(キーノートスピーチ)
*豊田 晴義原 勉
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抄録
我々はレーザ光の2次元光位相分布を高精度に制御するためのデバイスとして,空間光変調器:LCOS-SLM(Liquid Crystal on Silicon - Spatial light modulator)の研究開発とその応用を進めてきた.ここでは,高精度な2次元位相変調を実現したLCOS-SLMの基本機能と,レーザ加工・顕微鏡・補償光学・光ピンセットなどの応用事例を紹介する.また,近年注目されている特異光ビームの発生と応用(微小物体マニピュレーション,超解像顕微鏡,高精度計測など)も紹介する.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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