液体分離転写技術を用いた曲面形状への反射防止構造の作製

抄録

ガラス表面での光の反射によって光学レンズ性能が妨げられてしまうことがある。そこで、本研究では薄い残膜層を有する反射防止構造を光学レンズ上に得るために、ロールプレス方式によるLTIL(Liquid Transfer Imprint Lithography)プロセスを用いて、大気中で約100nm以下の残膜層を有した反射防止構造を曲面形状に得ることに成功した。反射率は約0.1%を達成し, 均一性と再現性も確認された。本研究の成果は光学素子の性能及び生産性向上への寄与が期待される。