主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
宮崎大 工学教育研究部
九州大，Doi Laboratory
バンドー化学
p. 283-284
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VDFパッド（多数の円柱状突起を有する研磨工具）を用いて，サファイア基板を長時間加工する場合の加工特性について調査した．本工具を用いたサファイアの長時間加工時においても，加工レートが低下しにくくなる現象があることを明らかにした．
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