超短パルスレーザを用いた多結晶CVDダイヤモンド加工と表面構造変化

夏目 航平; 劉 暁旭; 前川 覚; 糸魚川 文広; 小野 晋吾; 太田 道春

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_572

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_572

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

超短パルスレーザを用いた多結晶CVDダイヤモンド加工と表面構造変化

*夏目航平, 劉暁旭, 前川覚, 糸魚川文広, 小野晋吾, 太田道春

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キーワード: 超短パルスレーザ, CVDダイヤモンド, ラマン分光法, 表面改質

会議録・要旨集フリー

p. 572-573

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抄録

これまでに，CVDダイヤモンドに対して短パルスレーザを低フルエンス条件下で照射することにより，その結晶性が向上することを報告した．本報では，パルス幅の異なる2種類の短パルスレーザを用いたレーザ照射実験を行い，加工面をラマン分光解析することでその組成について調査した．その結果，パルス幅が長い場合では表面がグラファイト化する一方で，短い場合（超短パルスレーザ）では表面がグラファイト化することなく加工されることが示唆された．

責任著者(Corresponding author)

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