主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会春季大会
開催地: 東京電機大学
開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15
p. 588-589
レーザ加工におけるレンズ保護ガラスはガラス自体がわずかではあるがレーザを吸収して温度が上昇し,焦点の位置が変化する熱レンズ効果が表れる.高精度な焦点合わせのために,まずこのずれ量の検出を目標としてレーザ加工機の保護ガラスを干渉計に搭載し,干渉縞の変化を調べた.この結果,シングルモードファイバレーザで70Wの平行光を照射すると屈折率は最大0.003程度増加するのと同等の効果がみられた.