X線回転楕円集光ミラーの形状取得のためのX線CTボリュームからの体積率を用いた表面抽出の高精度化

抄録

Ｘ線を高効率で集光するために用いられるＸ線回転楕円集光ミラーは、内面の精度が集光の性能に影響するため、設計通りの形状であるか検査する必要がある。そこで、ミラーのX線ＣＴボリュームから高精度に表面形状を取得する手法を提案する。提案手法では、ミラーの断面が円形であることを考慮し、ＣＴボリュームの部分領域におけるミラーの体積率に応じて表面を定義する。また、従来の表面抽出法との比較結果を紹介する。