差分成膜法による超小型X線集光ミラーの作製

抄録

2 mm長と8 mm長のミラーで構成される超小型Kirkpatrick-Baezミラーは、焦点距離が最短2 mmと極端に短く、集光・顕微観察で利点が多い。一方、曲率半径10 m以上だった従来のX線ミラーと異なり、超小型ミラーは曲率半径が150 mmと急峻な形状を持つ。本研究ではこれらミラーを成膜法で作製した。計測には走査型白色干渉計を用いた。差分成膜法によって凹シリンドリカルレンズを楕円筒面に修正加工し、形状誤差がPV値20 nm以下のミラーを作製した。