PVAブラシの発塵物排出メカニズムの推定

抄録

CMP後洗浄で用いられるPVAブラシは、新品の状態で発塵源となりうる異物（発塵物）を抱え込んでいるため、CMP後洗浄で使用する前にこれを事前処理（ブレークイン）する必要がある。本研究は、水晶振動微量天秤法を用いて発塵物の発塵特性を調査した。実験結果からブラシ収縮時に液とともに発塵物のブラシ外への排出が予想される。ブラシから液排出をしやすい条件でスクラブすることで、ブラシのブレークイン効率の向上が期待される。