精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
会議情報

微細構造を利用した光位相共役レンズの開発
*吉武 春陽小野田 寛太臼杵 深關根 惟敏三浦 憲二郎
著者情報
会議録・要旨集 フリー

p. 250-251

詳細
抄録

レンズの集光機能は,計測の他,加工や操作(マニピュレーション)といった様々な場面で利用されており,最先端のものづくりに寄与するところは大きい.一方,集光性能は回折限界に依存するため,微細化・高集積化における制約となってしまう.そこで我々は,微細構造による近接場光散乱とデジタル位相共役鏡を利用した回折限界を超えた集光性能を有するレンズを提案した.シミュレーションによるレンズ設計について報告する.

著者関連情報
© 2022 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top