主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 250-251
レンズの集光機能は,計測の他,加工や操作(マニピュレーション)といった様々な場面で利用されており,最先端のものづくりに寄与するところは大きい.一方,集光性能は回折限界に依存するため,微細化・高集積化における制約となってしまう.そこで我々は,微細構造による近接場光散乱とデジタル位相共役鏡を利用した回折限界を超えた集光性能を有するレンズを提案した.シミュレーションによるレンズ設計について報告する.