レーザ加工によるマイクロ流路内の微細連続ディンプル構造が流れに与える影響の基礎評価

抄録

マイクロリアクター等のマイクロ流路は，流路内の流れに影響を及ぼす流路形状が重要となる．そこで，合成石英ガラス基板上に，炭酸ガスレーザにより流路形状を制御したマイクロ流路形成を試みた．パルスレーザを走査した結果，微細連続ディンプルを有するマイクロ流路形成を確認した．本研究では，微細連続ディンプルがマイクロ流路内の流れに及ぼす影響について，純水内の蛍光ビーズの挙動により基礎評価したので報告する．