CMPにおける研磨パッドに着目した研磨機構の解明

ポア縁辺に形成されるパッド表面形状が研磨性能に与える影響の調査

抄録

CMPの研磨原理の解明への糸口として，共焦点顕微鏡を用いて研磨パッドの表面形状を観察した．研磨の際にウエハと接触して研磨に寄与すると考えられるパッド表面突起が，ポア縁辺の流れ方向上流部分を中心に形成されていることが確認された．本稿ではポア縁辺に形成される突起形状とポアの深さの関係について検討した．