フラーレン構造体を用いた新規研磨微粒子に関する研究

抄録

SiC研磨における新規研磨微粒子の開発を行った。ナノシリカ微粒子上に水酸化フラーレンを吸着させた水酸化フラーレンハイブリッド型高速研磨技術について提案する。ここでは紫外線イオンによるポリマー化の影響についても検討している。